近日，北京經開區(qū)企業(yè)北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司（以下簡稱北方華創(chuàng)）正式發(fā)布應用于晶邊刻蝕（BevelEtch）工藝的12英寸等離子體刻蝕機AccuraBE，實現國產晶邊干法刻蝕設備“零”的突破，為我國先進芯片制造量身打造良率提升高效解決方案。
本次發(fā)布的晶邊刻蝕機是為了解決晶圓邊緣副產物及殘留物堆積越來越多的問題，從晶圓的邊緣位置著手提高芯片良率。
刻蝕機與光刻機是一對好朋友，二者都決定著芯片成品的性能，如果說光刻機就像工匠在木板上劃線，而刻蝕機則按照木板上劃線進行雕花。
北方華創(chuàng)自2001年創(chuàng)立起就開始組建團隊鉆研刻蝕技術，從2005年第一臺8英寸ICP刻蝕機在客戶端上線，到帶領國產刻蝕機從零到交付破千，北方華創(chuàng)歷經了二十余載自主創(chuàng)新，不斷為集成電路裝備國產化進程貢獻“亦莊智慧”。
“AccuraBE作為首臺國產12英寸晶邊刻蝕設備，其技術性能已達業(yè)界主流水平。”北方華創(chuàng)相關負責人表示，AccuraBE通過軟件系統(tǒng)調度優(yōu)化與特有傳輸平臺的結合，可助力客戶實現較高的產能；同時，可定制多種尺寸的聚焦環(huán)設計組合，實現對等離子體刻蝕區(qū)域的精準位置控制，從而為客戶提供靈活、全面的良率提升方案。據了解，AccuraBE剛發(fā)布上市，就已斬獲邏輯及存儲器領域頭部客戶多個訂單，通過工藝調試，進入量產階段。
北京經開區(qū)作為全國集成電路產業(yè)聚集度最高、技術水平最先進的區(qū)域之一，現已形成以中芯國際、北方華創(chuàng)為龍頭，包括設計、晶圓制造、封裝測試、裝備、零部件及材料等完備的集成電路產業(yè)鏈，占據北京集成電路產業(yè)規(guī)模超一半，為了打造全國集成電路產業(yè)高地，構建了“小線研發(fā)+大線量產”的集成電路產業(yè)創(chuàng)新模式，實現了關鍵裝備工藝的國產替代、關鍵產品的超前研發(fā)，北方華創(chuàng)、屹唐半導體兩家裝備企業(yè)進入全球裝備企業(yè)30強。
