2026年3月18日，先鋒精科半導體先進制程核心工藝器件研發(fā)制造項目開工儀式在靖江經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)舉行。
江蘇先鋒精密科技股份有限公司是靖江本土培育的國家級專精特新“小巨人”企業(yè)，于2024年成功登陸科創(chuàng)板。多年來，企業(yè)專注于半導體設備關鍵零部件領域，聚焦半導體刻蝕和薄膜沉積設備關鍵精密零部件的研發(fā)與生產(chǎn)，逐步實現(xiàn)從單點技術(shù)突破到全鏈條能力構(gòu)建的發(fā)展跨越。
作為國內(nèi)少數(shù)具備7nm及以下先進制程關鍵零部件量產(chǎn)能力的供應商，先鋒精科已成為國內(nèi)集成電路高端工藝裝備龍頭企業(yè)的重要合作伙伴，在國產(chǎn)半導體設備向先進制程升級的過程中，承擔著關鍵零部件供應的支撐作用，為產(chǎn)業(yè)鏈自主可控提供了重要保障。
此次開工的半導體先進制程核心工藝器件研發(fā)制造項目，是先鋒精科響應產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求、搶抓市場機遇的重要布局，計劃總投資8億元，將進一步強化企業(yè)在半導體關鍵零部件領域的產(chǎn)能與技術(shù)優(yōu)勢。
項目將重點推進三大核心板塊建設：半導體先進制程核心工藝金屬器件擴建、半導體先進制程核心工藝非金屬材料及器件研發(fā)生產(chǎn)，以及半導體設備用陶瓷靜電吸盤研發(fā)。通過技術(shù)攻關與產(chǎn)能升級，企業(yè)將聚焦高價值關鍵功能器件及配套組件，突破相關技術(shù)瓶頸，拓展市場覆蓋范圍，提升核心競爭力。
該項目的開工，是靖江市發(fā)揮龍頭企業(yè)“鏈主”效應、加快半導體裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展的具體實踐，將進一步推動當?shù)匕雽w產(chǎn)業(yè)集群化發(fā)展，為因地制宜培育新質(zhì)生產(chǎn)力、助力半導體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控注入新的動力。
