2026年1月8日，上海櫟智科技（二期）工廠舉行正式投產剪彩儀式。作為扎根松江集成電路產業(yè)集群的重要載體，該工廠的投產將進一步完善區(qū)域半導體裝備及核心零部件產業(yè)鏈生態(tài)。
新工廠定位為先進半導體裝備制造基地，配備高標準潔凈廠房、全自動焊接設備及各類精密檢測儀器，同步搭建核心零部件功能驗證測試平臺。工廠核心業(yè)務聚焦特氣輸送系統(tǒng)設備、電子特氣充裝設備、化學品輸送系統(tǒng)設備、電子化學材料成套設備及非標定制設備的研發(fā)與生產。產品可廣泛應用于半導體制造全流程關鍵環(huán)節(jié)，對提升半導體制造工藝穩(wěn)定性與良率具有重要支撐作用。
