2026年5月18日，“成都經(jīng)開產(chǎn)學研用科技創(chuàng)新基地——半導體核心生產(chǎn)裝備和先進工藝創(chuàng)新平臺”在成都經(jīng)開汽車科技園正式落成。作為該創(chuàng)新平臺的核心依托項目，四川遠為芯途半導體科技有限公司投資建設的“西南濕法設備研產(chǎn)基地”同步啟航。
此次建成投運的遠為芯途研產(chǎn)基地建筑面積近10000平方米，配備百級、千級、萬級潔凈車間，聚焦電鍍、清洗、涂膠等濕法制程全流程，具備年產(chǎn)200臺（套）高端半導體設備的生產(chǎn)能力，是當前西南地區(qū)規(guī)模較大的濕制程先進裝備研發(fā)制造基地。
遠為芯途總經(jīng)理管選偉介紹，“西南濕法設備研產(chǎn)基地的正式啟航，標志著西南地區(qū)在半導體濕法工藝這一關鍵環(huán)節(jié)補齊了重要拼圖。基地以打造西南地區(qū)一流的濕法工藝設備研發(fā)制造高地為目標，依托成都密集的高校資源與電子信息產(chǎn)業(yè)基礎，構(gòu)建‘產(chǎn)學研用’完整閉環(huán)，助力半導體產(chǎn)業(yè)鏈的‘補鏈、強鏈’工作，推動區(qū)域內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)的自主化發(fā)展。”
遠為芯途于2024年作為重點引進項目落戶成都市龍泉驛區(qū)經(jīng)開區(qū)，依托江蘇南通遠景智能裝備的產(chǎn)業(yè)基礎，集研發(fā)、設計、制造、銷售及服務于一體，構(gòu)建起立足成都、輻射西南、面向全國的產(chǎn)業(yè)布局。公司選擇成都，看中的正是當?shù)孛芗母咝ＹY源、雄厚的電子信息產(chǎn)業(yè)基礎，以及精準政策支持與產(chǎn)業(yè)集聚效應。
在全球半導體設備市場進入“AI驅(qū)動的超級周期”背景下，中國穩(wěn)居全球第一大半導體設備市場。遠為芯途選擇深耕濕法工藝設備這一國產(chǎn)化率仍有較大提升空間的賽道，以突破關鍵核心技術(shù)壁壘、填補國內(nèi)高端濕法裝備空白。隨著研產(chǎn)基地的啟航，遠為芯途已從技術(shù)研發(fā)穩(wěn)步邁入規(guī)?；涞厣a(chǎn)階段。
管選偉透露，下一步公司將繼續(xù)加大研發(fā)投入、加快技術(shù)攻堅，以行業(yè)高標準打磨生產(chǎn)體系，以嚴苛規(guī)范筑牢質(zhì)量防線。同時，深化“產(chǎn)學研用”閉環(huán)，與產(chǎn)業(yè)鏈上下游伙伴攜手共進，持續(xù)為客戶提供更優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品、更專業(yè)的服務、更全面的解決方案，助力半導體產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控與安全穩(wěn)定。
此次創(chuàng)新平臺的落成，是成都經(jīng)開區(qū)（龍泉驛區(qū)）推動產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型、搶占新質(zhì)生產(chǎn)力賽道的標志性成果。業(yè)界認為，在政府與企業(yè)的合力推動下，遠為芯途立足西南、輻射全國的布局，有望成為高端濕法設備國產(chǎn)化的重要支點，為半導體裝備國產(chǎn)替代持續(xù)貢獻“成都力量”。
