2026年5月26日，遼寧全省首個(gè)集成電路產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心——遼寧聚芯智能裝備創(chuàng)新中心在渾南區(qū)正式揭牌成立。
遼寧聚芯智能裝備創(chuàng)新中心以“落實(shí)國家集成電路產(chǎn)業(yè)自主可控戰(zhàn)略，突破薄膜沉積設(shè)備及核心零部件‘卡脖子’難題，加速國產(chǎn)化替代，提升產(chǎn)業(yè)鏈韌性與安全水平”為使命，將打造集技術(shù)供給、人才匯聚、關(guān)鍵零部件孵化與驗(yàn)證于一體的產(chǎn)業(yè)核心引擎，為全省集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)支撐。
遼寧聚芯智能裝備創(chuàng)新中心遴選11家本地及外埠薄膜設(shè)備、零部件供應(yīng)商及合作伙伴投資設(shè)立，定位于實(shí)體化運(yùn)作的產(chǎn)學(xué)研用協(xié)同平臺。將緊扣薄膜設(shè)備核心賽道，重點(diǎn)圍繞應(yīng)用于先進(jìn)制程領(lǐng)域的高端集成電路裝備新產(chǎn)品、新技術(shù)的需求，開展關(guān)鍵零部件的核心技術(shù)開發(fā)、驗(yàn)證與應(yīng)用，同步搭建設(shè)備及零部件研發(fā)、測試平臺，依托各股東方的產(chǎn)業(yè)鏈資源，構(gòu)建“研發(fā)—中試—產(chǎn)業(yè)化”的完整閉環(huán)。下一步，中心將持續(xù)整合優(yōu)質(zhì)資源、夯實(shí)創(chuàng)新實(shí)力，全力推動(dòng)申報(bào)國家級工作。
